超高世代TCT-LCD生產線設計技術
超高世代TFT-LCD生產線設計技術
世源科技工程有限公司與中國電子工程設計院有限公司及中建一局集團建設發展有限公司共同完成“超高世代（10代以上）TFT-LCD生產線設計關鍵技術研究與產業化”研究成果。
研究成果形成多項10代以上TFT-LCD生產線設計的關鍵技術創新：
創新點1：提出了具有完全自主知識產權的超高世代TFT-LCD顯示器件生產線工藝仿真及組線技術
? ? ? ? 優化了工藝生產流程、設備布局、縮短物流傳送距離；
? ? ? ? 使生產線從點亮到量產僅需6個月，產品良率迅速完成穩定在92%以上，創造平板顯示產業速度和良率水平。
? ? ? ? 平均節約項目建設安裝（不含工藝設備）17%的投資；
? ? ? ? 節省TFT-LCD工廠中潔凈室面積20%。
創新點2：首創建立了“高世代TFT-LCD生產線納米級防微振控制技術體系” ?
?? ? ? 提出了基于“原位測試+仿真分析+實驗驗證”的微振動控制設計方法；
?? ? ? 自研場地微振動測試數據庫，微振動分析模型。
?? ? ? 提出了精密儀器設備的微振動控制方法，發明了多種型號防微振基臺。
創新點3：超大面積潔凈環境控制技術+超高潔凈度微環境控制技術
?? ? ? 建立了超大潔凈廠房CFD氣流仿真模擬技術；
?? ? ? 研發了凈化空調系統溫水淋水加濕空氣處理技術；
?? ? ? 保障超大面積（40萬㎡）潔凈室的超高溫濕度精度（溫度控制精度23℃±1℃、相對濕度控制精度55%±3%）控制要求。
創新點4：TFT-LCD廠房極端超長的鋼筋混凝土結構裂縫控制技術
?? ? ? 通過選材、設計及施工控制的綜合措施，解決了鋼筋混凝土框排架廠房的極端超長（550m）無伸縮縫結構的裂縫控制技術。
?? ? ? 突破了《混凝土結構設計規范》關于室內伸縮縫最大間距55m的要求。
創新點5：研發了高精度、高品質超純水制備系統
?? ? ? 首創制訂出適用第10.5代TFT-LCD的超純水水質指標標準，并準確定義各指標參數。
?? ? ? 研發10.5代TFT-LCD生產線超純水最佳處理工藝流程；
?? ? ? 提出超純水制備的梯級處理系統，實現節能超過20%；
?? ? ? 工藝冷卻循環水系統中確定閉式系統，節能超過35%；
?? ? ? 首創提出超純水30%~40%循環附加量的最佳實踐；
?? ? ? 提出超純水供水管網必須設置三管式同程管網的要求。
創新點6：提出“物化+水解酸化+生物處理+RO”組合方式的電子含氟/堿/酸廢水處理技術
?? ? ? 提出“物化+水解酸化+生物處理+RO”組合方式的電子含氟/堿/酸/有機廢水處理技術。
?? ? ? 通過設置不同的處置流程，控制藥劑劑量等方式，實現TFT-LCD廢水的清污分流；
?? ? ? 回收水系統按照TOC濃度，采用多種處理手段，回用于超純水系統或中水系統，綜合回用率可達到70%。
創新點7：基于產品工藝流程的產品制造和工廠建造高效節能技術
?? ? ? 4次光刻技術，可以縮短工藝時間，降低生產成本，減少原材料消耗，并使設備利用率顯著提高，減少設備投資，或在設備配置相同的情況下提高產能約20%。
?? ? ? 噴墨打印技術，與傳統的旋轉涂布技術相比，節省60%以上的材料，同時減少工藝步驟和節省能耗。
?? ? ? 用純水替代異丙醇清洗技術，有效減少化學品使用及污染物的排放；
?? ? ? 傾斜式清洗技術，使積存在基板表面的藥液量降低40%，所排放的廢水濃度和純水使用量都相應降低。