防微振研究及應用
來源 : 世源科技工程有限公司提供
防微振研究及應用
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隨著產業技術向精密化和微細化的發展，其對控制微米級的微小振動而采取防微振措施提出了更高的要求。為達到預期的防微振目標，從廠址的宏觀選擇，場地的測試，總圖布置，工藝設備布置，Tool的要求和特點，結構方案，支持設備，基座平臺等方面都應進行防微振方面的考量。世源公司已實施了多個項目的從“結構防微振方案制定”、“設備防微振機臺設計”到“整個防微振系統的安裝”的全過程服務，達到良好效果，滿足工藝生產良品率的需求。
IC/TFT-LCD廠房防微振設計平臺建設研究及應用
完成時間：2011.06
課題簡介：本項目對以往IC/TFT—LCD項目的結構特行進行總結，分析其剛度、動力特性等，并實地測量相應項目的微振技術參數，最終提出針對性的結構設計方案及精密設備基座平臺的方案，完善“15240微振技術規格書”及其有關計算方法。通過研究使高科技廠房的防微振設計具有實用性和系統化。